數(shù)控8472雙面研磨機(jī)主體采用一次成型工藝，合理的結(jié)構(gòu)大大提升整機(jī)剛性度。
2MK8472雙面研磨機(jī)設(shè)備的上盤系統(tǒng)設(shè)計了三點平衡系統(tǒng)，保證了上盤落下時與下盤的平行度。
數(shù)控8472雙面研磨機(jī)結(jié)構(gòu)優(yōu)勢
3、2MK8472雙端面研磨機(jī)主要有齒圈，太陽輪、液盆同步齒輪抬升，任意位置自鎖可停。
4、研磨液系統(tǒng)采用雙通道冷卻，有效降低拋光過程中盤面的溫度。
5、數(shù)控8472雙端面研磨機(jī)設(shè)備工作過程中水液自動分流，水路液路分離。
6、傳動系統(tǒng)三電機(jī)聯(lián)合拖動，變頻調(diào)速，實現(xiàn)軟啟動軟停止 。
數(shù)控2MK8472雙面研磨機(jī)技術(shù)參數(shù)
數(shù)控精密雙端面研磨機(jī)工作原理
數(shù)控2MK8472雙端面研磨機(jī)能避免由夾具的粘結(jié)誤差及薄片工件兩面的應(yīng)力差引起的變形問題。
研磨工件放在工件行星輪內(nèi)，上下均有研磨盤；研磨墊固定在上研磨盤和下研磨盤的表面，被加工晶片放在由中心齒輪和內(nèi)齒圈組成的差動輪系內(nèi)。
研磨壓力則由氣缸加壓上研磨盤實現(xiàn)，為減少研磨時晶片所受的作用力，一般是上研磨盤和下研磨盤分別以大小相等、方向相反的角速度旋轉(zhuǎn)。
工件的運動由行星輪帶動，同時上、下研磨盤研磨壓力的作用下產(chǎn)生自轉(zhuǎn)，因此晶片的運動是行星運動和自轉(zhuǎn)運動的合成運動。
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